Optimisation du dépôt par ablation laser de films minces d'alumine et de carbone tétraédrique amorphe pure et dopé; propriétés des couches et intégration dans le fabrication de composants MEMS RF
Ce travail consiste en l'optimisation des conditions de dépôt par ablation laser à température ambiante du carbone et de l'alumine. Il se divise en huit parties principales. Le premier chapitre est une présentation du contexte de l'émergence des couches de carbone et d'alumine pa...
| Main Author: | |
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| Language: | fra |
| Published: |
Université de Limoges
2003
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00006701 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/04/70/31/PDF/tel-00006701.pdf |