Développement de la microscopie interférométrique pour une meilleure analyse morphologique des couches minces et épaisses des matériaux semiconducteurs et optiques
Les techniques d'interférométrie microscopiques, basées sur le principe de l'interférence lumineuse, ont connu un développement considérable au cours des dernières années. On distingue deux familles de techniques : la microscopie à saut de phase (PSM) bien adaptée pour l'analyse de dé...
| Main Author: | |
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| Language: | FRE |
| Published: |
Université Louis Pasteur - Strasbourg I
2002
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| Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00002418 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/04/51/89/PDF/tel-00002418.pdf |