SISTEMA SILAR PARA EL CRECIMIENTO DE PELÍCULAS SEMICONDUCTORAS CON DIFERENTES APLICACIONES

• Main Authors: David Alfredo Garzón-Ramos, Alfredo Martínez, Daniel Rico, Diego Alonso Guzmán-Embús, Carlos Vargas-Hernández
• Format: Article
• Language: Spanish
• Published: Universidad del Quindio 2012-08-01
• Series: Revista de Investigaciones Universidad del Quindío
• Subjects: Sistema Semi-acoplado; SILAR automatizado; Películas de ZnO
• Online Access: https://revistas.uniquindio.edu.co/ojs/index.php/riuq/article/view/414

Se diseñó e implementó un sistema electromecánico controlado por teclado que permite controlar los pará-metros de crecimiento de películas semiconductoras tales como ZnO y ZnSe sobre substratos de vidrio. Los parámetros que se pueden controlar vía teclado son tiempo y secuencia de inmersión en las soluciones, ade-más del número de ciclos. El Sistema SILAR es autónomo, versátil y cuenta con medidas de control como la temperatura. Se han empleado microcontroladores que se adaptan al sistema electromecánico y motores paso a paso que ubican los portamuestras en las soluciones respectivas, la información de los parámetros de control es visualizada en un display. Los resultados obtenidos en los crecimientos de las películas semiconductoras indican que el sistema SILAR automatizado posee un alto desempeño que permite obtener muestras homogéneas con espesores que son controlados por medio del número de ciclos. Este sistema permite reducir los costos, el tiempo y obtener un mejor control sobre los parámetros empleados en diferentes aplicaciones.