Evaluación del espesor de capas delgadas mediante análisis EDS y simulación de Monte Carlo
En este trabajo se presenta un método de evaluación de espesores de capas delgadas mediante la técnica de energías dispersivas de rayos X (EDS). Las medidas analíticas de las áreas de los picos característicos de los elementos detectados en las capas, obtenidas mediante esta técnica, se complementan...
| Main Authors: | , |
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| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Consejo Superior de Investigaciones Científicas
2010-12-01
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| Series: | Revista de Metalurgia |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://revistademetalurgia.revistas.csic.es/index.php/revistademetalurgia/article/view/1165 |