Evaluación del espesor de capas delgadas mediante análisis EDS y simulación de Monte Carlo

Evaluación del espesor de capas delgadas mediante análisis EDS y simulación de Monte Carlo

En este trabajo se presenta un método de evaluación de espesores de capas delgadas mediante la técnica de energías dispersivas de rayos X (EDS). Las medidas analíticas de las áreas de los picos característicos de los elementos detectados en las capas, obtenidas mediante esta técnica, se complementan...

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Main Authors: J. C. García, F. Peñalba
Format: Article
Language:English
Published: Consejo Superior de Investigaciones Científicas 2010-12-01
Series:Revista de Metalurgia
Subjects:
capas finas nanométricas
monte carlo
eds
aceros
materiales metálicos
Online Access:http://revistademetalurgia.revistas.csic.es/index.php/revistademetalurgia/article/view/1165
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1988-4222
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