Screen Printing of SU-8 Layers for Microstructure Fabrication / Ar Sietspiedi Uzklātu SU-8 Pārklājumi Mikro-Struktūru Izgatavošanai
Rakstā aprakstīta sietspiedes metode liela izmēra SU-8 pārklājumu iegūšanai, lai izgatavotu mikrostruktūras mikroelektronikai, elektroslapināšanas un bistabilajiem ekrāniem. Sietspiede ir efektīvāka un vienkāršāka metode nekā tradicionāli izmantotā spin-coating metode. Šādiem pārklājumuiem un mikros...
| Main Authors: | , , , , |
|---|---|
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Sciendo
2015-10-01
|
| Series: | Latvian Journal of Physics and Technical Sciences |
| Subjects: | |
| Online Access: | https://doi.org/10.1515/lpts-2015-0029 |