| Summary: | Geleneksel
olarak, sığal basınç algılayıcıları paralel plaka düzlemsel kondansatörlerin
bir plakasını ince diyafram olarak kullanmaktadır. Bu çalışmada yeni nesil, kulan-at özelliğine
sahip, üç boyutlu yazıcı ile üretilmiş ve yüzeyi alanı arttırılmış şeffaf
polimer bir sığal basınç algılayıcı yapısı sunulmuştur. Önerilen yapı düzlemsel
bir sığaç özelliklerine sahip olup, üst ve alt olmak üzere iki plakadan
oluşmaktadır. Plakaların iç yüzeylerinin topolojisi değiştirilerek
algılayıcının yüzey alanı arttırılmıştır. Önerilen bu cihaz, Polyjet Connex3
Objet260 üç boyutlu yazıcı kullanılarak VeroClear malzemesinden üretilmiştir. 3B
yazıcı ile oluşturulan ve şeffaf termoplastik malzeme ile üretilen algılayıcı
parçaları, kullanılan malzemenin yapısı itibarıyla iletken değillerdir. Söz
konusu cihaza tozutma prensibi kullanılarak önce 40 nm kalınlığında ince film
krom daha sonra ise 115 nm kalınlıktaki altın malzeme kaplanmış ve böylelikle
yapıya iletkenlik kazandırılmış; düzlemsel sığaç yapısının alt ve üst metal
yüzeyleri oluşturulmuştur. Üretilen algılayıcının boyutları 11x11x4,6 mm3’dür.
Nominal değeri 2,7 pF olan cihaza deneyler esnasında en yüksek 8,88 kPa kadar
çeşitli basınç değerleri uygulanmıştır. Cihazın azami 4,3 pF sığa değeri aldığı
ölçülmüştür. En yüksek hassasiyet değeri ise 0,14 pF / kPa olarak hesaplanan
algılayıcının, basınç ölçümlerinde başarı ile kullanılabileceği gösterilmiştir.
|
|---|
